MX61L(300mm용) / MX61(200mm용) 반도체 검사용 현미경은 명시야,암시야,간이편광(DIC),형광, 적외선 및 자외선을 이용한 다양한 관찰법을 통해 고화질의 선명한 이미지를 제공합니다
인체공학적인 디자인
■ 빠른 작업을 위한 직관적인 컨트롤
전면 패널
[1] 조명 강도 손잡이
[2] 회전 대물렌즈 터렛
[3] 조리개 조절 |
MX61L/MX61의 주요 컨트롤은 사용자의 손끝이 초점조절 손잡이 근처인 현미경의 전면부에 위치하게 된다는 것입니다.
렌즈,조명 강도와 조리개 조절시에 초점조절 손잡이로부터 손을 뗀다거나 접안렌즈에서 눈을 멀리하는 일이 없습니다. |
■ Titling Trinocular Observation Tube
Observation Tube 조절 |
Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다. |
■ Titling Trinocular Observation Tube
Stage handle with built-in clutch |
300mm 수동 XY 스테이지는 내장된 클러치 메커니즘 및 XY
손잡이를 사용하여 조동과 미동 움직임의 조절이 됩니다.
클러치를 사용하여, 사용자는 검사를 하는 동안 스테이지를 자유롭게 이동할 수 있습니다. |
뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능
■ 우수한 이미지 성능을 위한 다양한 선택
렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 재료 샘플의 관찰과 조명을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다.
소프트웨어 솔루션
■ 디지털 영상을 위한 준비
MX61L / MX61은 현미경의 제어를위한 PC 인터페이스를
갖추고 있습니다. 이미지를 캡처하는 동안 렌즈의 배율이 자동으로 저장 됩니다. 이 점은 추가적인 처리와 분석을위한 신뢰할 수있는 이미지 정보를 보장합니다.
■ 디지털 영상, 이미지 분석과 데이타베이스 관리
OLYMPUS는 소프트웨어 뿐만 아니라 다양한 종류의 디지털 카메라와 함께 광범위한 영상과 분석솔루션을 제공합니다. 가장 최신버젼의 고급 소프트웨어는 MX61L/MX61과 통합되어 이미지 획득, 이미지 처리, 측정 기능, 통계 결과, 주석, 보관, 리포트 생성과 데이타 관리와 같은 업무 수행에 필수적인 기능을 제공하며 추가적으로 Secure File Repository를 제공하여 보안을 강화할 수 있습니다.
고성능 기능
■ 전동 Nosepieces로 검사속도 향상
전동 Revolving Nosepiece |
초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋. |
■ 자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast
Aperture Stop 자동조절 |
통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로
조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다. |
다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리
■ OLYMPUS Wafer Handler와 원활한 통합
AL120 웨이퍼 핸들러와 MX61L 반도체 검사용
현미경 |
MX61L/MX61 은 완벽하게 OLYMPUS 웨이퍼 핸들러인 AL 시리즈에 완벽히 호환되어 100-200mm 웨이퍼에 대해 신속하고 효율적으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 대부분의 웨이퍼와 호환되어 AL120 웨이퍼 핸들러는 두께 90μm의 작안 두께도 전송할 수있습니다. 매크로 웨이퍼 검사는 수동적인 조작없이 웨이퍼 전체 후면의 표면을 볼 수 있게 합니다. MX61L/MX61와 AL 시리즈를 같이 사용하면 카세트에서 카세트로의 빠른 작업속도 제공하며 사고발생으로 인해 웨이퍼 손상의 가능성을 최소화 합니다. |
■ 근적외석(IR) 광학과 영상
특별히 고안된 IR 객관 렌즈 및 부품 실리콘과 유리의
표면 아래 영상 기능과 결함에 이상적입니다.반도체 및 태양광 산업 정렬에 대한 IR 영상, 하위 표면 오염 및 중요 치수 검사의 신분을 사용합니다.20x, 50x 및 100x 목표는 전반적인 대비를 향상, 실리콘과 유리의 두께로 인한 aberrations에 대한 해결 정정 칼라로 설계되었습니다. 가까운 적외선 영상 및 분석을위한 올림푸스 supportsseveral IR 디지털 카메라.
특별히 고안된 IR 대물렌즈와 부품들은 실리콘와 유리 표면 아래(내부)에 있는 결함의 발견과 영상 기능에 이상적입니다. 반도체 및 태양광 산업에서 중요 치수 검사나 하위-표면 오염정도의 식별을 위해 IR 기능을 사용합니다. 20배,50배,100배 렌즈는 전체적으로 contrast를 향상시켰고 실리콘과 유리 두께에 따라 발생하는 aberrations을 해결하기 위해 correction collar(보정환)를 가지고 있습니다. OLYMPUS는 근적외선 영상과 분석을 위한 IR 디지털 카메라도 지원합니다.
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| 근적외선 부품 |
근적외선 관찰 |
■ 형광 관찰
MX61L/MX61은 높 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다.
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| 형광 미러 큐브 |
형광 관찰 |
■ Transmitted Light Module
투과 조명모듈
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투과 조명은 MX61L/MX61에 결합되어 포토마스크나 평판디스플레이 검사에 사용할 수 있습니다. 두 가지 콘덴서 타입이 있으며, 첫 번째 타입 MX-TILLA는 범용적인 용도로 사용되며, 두 번째 타입 MX-TILLB는 높은 개구수(N.A)를 갖고 있습니다. 두 가지 타입 모두 간이편광을 지원합니다. |
